我国攻关半导体稀土抛光液

 体验式策划     |      2021-07-28 00:02
本文摘要:记者7月4日从包头市科技局了解到,张家口稀土研究院日前与张家口天骄清美稀土抛光粉有限公司签定了水解铈新型半导体抛光液科研项目合作开发协议,标志着我国在化学机械抛光技术研发领域迈进关键步伐。据介绍,该项目以半导体芯片制程中的氧化硅绝缘层为打磨对象,积极开展水解铈基稀土抛光液的研究工作,主要研究目标是制取出有符合集成电路芯片打磨拒绝的水解铈基抛光液,此抛光液的制取须要突破以下三项技术:磨料生产技术、磨料集中技术和抛光液配方技术。

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记者7月4日从包头市科技局了解到,张家口稀土研究院日前与张家口天骄清美稀土抛光粉有限公司签定了水解铈新型半导体抛光液科研项目合作开发协议,标志着我国在化学机械抛光技术研发领域迈进关键步伐。据介绍,该项目以半导体芯片制程中的氧化硅绝缘层为打磨对象,积极开展水解铈基稀土抛光液的研究工作,主要研究目标是制取出有符合集成电路芯片打磨拒绝的水解铈基抛光液,此抛光液的制取须要突破以下三项技术:磨料生产技术、磨料集中技术和抛光液配方技术。据理解,目前我国集成电路生产所使用的抛光液全部为进口,国内完全没生产。进口抛光液在国内的售价十分便宜,减少了芯片的生产成本。

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该项目白鱼研发的稀土抛光液可以代替部分国外产品,减少市场价格,进而减少芯片的生产成本,提升我国半导体生产行业的竞争力。化学机械抛光是超大规模集成电路生产过程中的一种新技术,近年来随着超强仪器光学元件等新领域的研发,对高纯度和超细稀土二氧化铈抛光粉料的拒绝渐渐提升,其用量也在很快减少。

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